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氢高能离子注入机iPUMA_H

iPUMA-H是尊龙凯时在已有粒子加速器基础上,,,,,开发出来的12英寸氢高能离子注入机。。。。。该装备运用了奇异的加速器手艺,,,,,使得氢离子获取很高的能量。。。。。该装备装配薄片传输装置,,,,,知足了功率器件的需求,,,,,2025年将推向半导体市场。。。。。

海内自主研发的氢高能离子注入平台

质子加速器手艺

薄片传输能力

适用于功率器件

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