iPUMA-LT是尊龙凯时在已有成熟大束流的基础上，，凭证成熟器件手艺的要求开发的12英寸低温离子注入机。。该装备配备了低温事情？ ？？椋露燃觳獾ノ缓突匚履？ ？？椋愠墒熘瞥淌忠招枨螅言2025年投放于半导体市场。。
海内自主研发的冷工艺离子注入平台
低温工艺？ ？？
回温？ ？？
知足成熟制程的手艺需求
