尊龙凯时

Universal-200 D 是基于尊龙凯时自主知识产权立异手艺开发的成熟8英寸CMP装备。。。该装备配备性能优越的抛光单位及洗濯单位，，
，，集成多种先进终点检测手艺，，
，，适用于多种材质，，
，，可实现晶圆外貌的超高平整度，，
，，知足成熟制程手艺需求，，
，，已在大硅片、第三代半导体、MEMS、Micro LED等制造工艺中批量应用。。。